ALS130H不像很多精密位移平臺(tái)一樣采用的是單邊驅(qū)動(dòng)絲杠,ALS130H使用中心驅(qū)動(dòng),無接頭效應(yīng)的直線馬達(dá)作為傳動(dòng)元件。因?yàn)橹本€電機(jī)是直接驅(qū)動(dòng)裝置,所以它相對(duì)于普通的絲杠和滾珠絲杠驅(qū)動(dòng)具有無回程差,無爬行和粘附效應(yīng)。直線電機(jī)還可以提供較高的運(yùn)動(dòng)速度和加速度,結(jié)構(gòu)緊湊動(dòng)力強(qiáng)大的直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)ALS130H使平臺(tái)具有1g的空載峰值加速度和300 mm/s的最大速度,它是一款遠(yuǎn)勝過高精度絲桿驅(qū)動(dòng)平臺(tái)的高性能,高輸出力的精密位移平臺(tái)。
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精密位移平臺(tái)特小分辨率
精密位移平臺(tái)對(duì)校準(zhǔn)應(yīng)用,突出的步進(jìn)分辨率是關(guān)鍵的。當(dāng)ALS130H配合Aerotech控制器使用時(shí)可以滿足這個(gè)0.5 nm分辨率的要求。直接驅(qū)動(dòng)直線電機(jī)允許ALS130H產(chǎn)生精確,小分辨率的步進(jìn)。這對(duì)于步進(jìn)精度是關(guān)鍵的校準(zhǔn)應(yīng)用來說是非常重要的。而且直線電機(jī)和高分辨率的編碼器系統(tǒng)還能提供極好的位置穩(wěn)定性。
精密位移平臺(tái)幾何特性出眾
Aerotech的超剛性結(jié)構(gòu)和緊湊的上下兩片設(shè)計(jì)導(dǎo)致精密位移平臺(tái)具有無比的幾何公差,結(jié)果使標(biāo)準(zhǔn)精密位移平臺(tái)的直線度和平面度在全行程里小于±2微米。
精密位移平臺(tái)行業(yè)應(yīng)用
1.航空宇宙、軍事防御、政府實(shí)驗(yàn)室、教育和科研用高級(jí)機(jī)電系統(tǒng)
2.半導(dǎo)體和平板顯示器制造業(yè)解決方案
3.汽車、機(jī)床、裝配和包裝工業(yè)解決方案
4.電子制造、測試和檢測、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)解決方案
5.激光加工、醫(yī)療設(shè)備制造業(yè)和生命科學(xué)研究解決方案
6.光纖光學(xué)工業(yè)自動(dòng)化解決方案
7 國防,航空及國家安全應(yīng)用運(yùn)動(dòng)控制解決方案集錦